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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 金屬 » 交流互助 » 釹銅合金靶材問題請教
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cuili2011新蟲 (初入文壇)
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[求助]
釹銅合金靶材問題請教 已有2人參與
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釹銅合金靶材，直徑兩英寸，厚度八分之一英寸，直流磁控濺射，氬氣，壓力5mToor，50W，2000s后靶材一側(cè)位置上方出現(xiàn)凹坑，下方出現(xiàn)凸起。調(diào)整靶材位置后，讓凸起在上方后，共進行了兩次實驗，由于實驗需要并考慮到凹坑位置可能被打穿的問題，每次實驗條件為直流磁控濺射，氬氣，壓力5mToor，50W，35s。圖片為最后一次實驗完成后的靶材照片，凸起處未見明顯變化，消耗仍然集中在同一側(cè)。實驗過程中儀器和循環(huán)水系統(tǒng)未見異常，該靶位之前進行其它實驗時未出現(xiàn)過此類情況，靶材消耗均成均勻的圓環(huán)。想請教一下大家，出現(xiàn)問題的原因可能有哪些呢？謝謝大家啦！ 釹銅合金靶材1.jpg 釹銅合金靶材2.jpg |
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cuili2011
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3樓2015-11-03 23:58:15
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4樓2015-11-18 09:14:02
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