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_看看不說話新蟲 (初入文壇)
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[求助]
一直測不出ZnO薄膜的阻變特性。。。。。 已有1人參與
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我在ITO上直流磁控濺射渡ZnO薄膜，工作氣壓為0.3pa，氬氧比4:1,3:1,2:1的都做過，時(shí)間大概都是10到20分鐘，沒有渡上電極直接測的，開關(guān)特性一直測不出來，不知道問題是不是出在沒有渡上電極上？測的時(shí)候forming都是挺好的，4-6伏左右，但是一直reset不了，電流都到了15mA以上了還是下不來，換個(gè)點(diǎn)測也是一樣。有時(shí)候時(shí)間渡長了膜上會(huì)出現(xiàn)細(xì)絲，有做過相關(guān)實(shí)驗(yàn)的能解答一下嗎？做了三十幾次了， 快吐了。。。。 |
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3樓2015-11-02 22:29:43
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4樓2015-11-03 09:37:00
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2樓2015-11-02 22:24:26
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5樓2015-11-03 10:07:39
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6樓2015-11-03 10:20:31
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電極大小對(duì)測試結(jié)果肯定有影響，但是只要控制在差不多大就行。不用自己定制掩模板，你可以自己用東西自己挖一個(gè)， 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
7樓2015-11-03 12:03:21
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8樓2015-11-03 13:41:07
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9樓2015-11-03 14:07:00
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