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為什么沒有在化學機械拋光中看到金屬摻雜的硅溶膠做磨料的文章呢?
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| 只看到過金屬摻雜硅溶膠做膜(產(chǎn)物粒徑小 ,多孔結構),沒有看到應用在化學機械拋光中的文章(需要粒徑大),是為什么呢?還是只是我沒有找到?求幫,有懂的大神解釋下 |

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