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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 半導體 » 鋁銅膜的反向漏電問題
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[求助]
鋁銅膜的反向漏電問題
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| 磁控濺射鍍鋁銅膜，冷濺，片內(nèi)的反向漏電有差別，一邊是0，另外一邊到了20多微安。請問什么因素會影響到鋁銅膜的電參數(shù)？這種片內(nèi)差異又是什么引起的？ |
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