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石墨烯轉(zhuǎn)移中銅的刻蝕問題 已有4人參與
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方法是濕法刻蝕，買的石墨烯PMMA是涂好的。我使用的是FeCl3刻蝕銅，在培養(yǎng)皿里配FeCl3溶液，一般我用的FeCl3量比較大，泡上一天后，銅基本被刻蝕掉，溶液仍為明顯紅褐色，之后在等離子水中反復(fù)清洗用襯底去撈。因?yàn)樽罱K的轉(zhuǎn)移效果不是很理想，想請問下FeCl3溶液的濃度影響大不大，還有如果使用FeCl3溶液和鹽酸的混合溶液刻蝕是不是更好?因?yàn)閺?qiáng)酸性會抑制FeCl3的水解,或者在FeCl3刻蝕之后用鹽酸清洗？ 最后請問下大家一般在FeCl3溶液里面泡多久就ok了呀？？ 多謝！ 剛開始做石墨烯的轉(zhuǎn)移 |
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