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勿忘心安里鐵蟲 (小有名氣)
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[交流]
有關(guān)離子刻蝕機（北京創(chuàng)世威納公司的MIBE-150B全自動離子刻蝕機）的刻蝕參數(shù)問題 已有1人參與
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如圖，設(shè)備趨于穩(wěn)定時，考夫曼離子源會出現(xiàn)實際值 中和電流小于陰極電流（但設(shè)定的中和明顯要大于陰極電流），請問為何會出現(xiàn)此問題？還有加速極電流易超過20mA,怎么解決？謝謝給出合適的建議。 IMG_20151107_114155.jpg |
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2樓2015-11-09 11:07:41
勿忘心安里
鐵蟲 (小有名氣)
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3樓2015-11-10 10:39:28
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