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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 功能薄膜 » 有關磁控濺射鍍膜儀 鍍電極的真空度問題
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| 查看: 1881 | 回復: 19 | |||
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勿忘心安里鐵蟲 (小有名氣)
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[交流]
有關磁控濺射鍍膜儀 鍍電極的真空度問題 已有11人參與
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為什么別人跟我說，抽真空時，真空度值先抽到5Pa,然后再回到7Pa（通過一個小旋鈕，通入一小部分空氣），穩(wěn)定下來。這樣做的目的何在？謝謝！ IMG_20151106_105116.jpg |
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t_ower
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9樓2015-11-16 23:27:56
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2樓2015-11-09 14:46:36
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3樓2015-11-10 09:34:44
匿名
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 本帖僅樓主可見 |
4樓2015-11-15 11:36:05
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