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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納器件 » 帶氧化層硅片的清洗
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丫丫smile新蟲 (初入文壇)
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[求助]
帶氧化層硅片的清洗 已有1人參與
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新硅片事先用劃片機切的，用丙酮浸泡去膠，然后用丙酮、異丙醇、去離子水超聲15min清洗，用顯微鏡觀察發(fā)現(xiàn)表面還是有很多黑色的顆粒和污漬。 求問各位大俠，這種帶二氧化硅層的硅片怎么才能洗的干凈？（不能去除表面的氧化硅）  |
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5樓2015-11-14 15:08:12
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9樓2023-05-08 10:08:55
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