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[求助]
哪些品牌光刻膠可以耐高溫160度以上，且對熱磷酸的耐受度較好！ 已有2人參與
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| 想用熱磷酸腐蝕氮化硅，用光科膠做選擇性腐蝕！烘干加熱都正常，原來以為是光刻膠受潮，加大烘干的時間，但是在磷酸里加熱，依舊會在120度左右光刻膠表面忽然出現(xiàn)大量小氣泡。個人推測是不是光刻膠里面的成分和熱磷酸發(fā)生了反應(yīng)，亦或光刻膠對高溫的耐受度不行。哪位同行做過相關(guān)工作，尤其是做過氮化硅濕法刻蝕的工作的，請教下。 |
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yswyx 
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機電器件與系統(tǒng)
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2樓2015-11-10 08:50:04
3樓2015-11-10 16:47:11
4樓2015-12-03 16:03:57
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
大白小: 金幣+8, ★★★很有幫助 2015-12-11 14:24:28
大白小: 金幣+8, ★★★很有幫助 2015-12-11 14:24:28
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5樓2015-12-11 12:53:56
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