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Gavin6152金蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控共濺射Cu-Ta薄膜,制得的薄膜大片剝落,求解 已有15人參與
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si襯底室溫磁控共濺射Cu-Ta薄膜，功率為200W/100W，沉積40min，制得的薄膜大片剝落，有人了解是怎么回事嗎？難道是膜太厚？Cu/Ta功率為50W/250W時沒出現(xiàn)剝落現(xiàn)象 279474988333634564.jpg |
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2樓2015-11-11 22:16:59
xhj543240343
金蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 1322
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- 專業(yè): 冶金物理化學與冶金原理
3樓2015-11-11 22:24:30
4樓2015-11-11 22:28:13
★
Gavin6152(金幣+1): 謝謝參與
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5樓2015-11-11 22:28:30
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Gavin6152(金幣+1): 謝謝參與
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| 哦 ！ |
6樓2015-11-11 22:28:41
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Gavin6152(金幣+1): 謝謝參與
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 本帖僅樓主可見 |
7樓2015-11-11 22:31:00
★
Gavin6152(金幣+1): 謝謝參與
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8樓2015-11-11 22:31:13
9樓2015-11-11 22:32:56
10樓2015-11-11 22:32:57
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