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[交流]
求助做濃度梯度應(yīng)該怎么設(shè)計 已有2人參與
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| 目前在做磁控濺射鍍丹化鋁鈦硅薄膜，目前已經(jīng)用硬度試出來做好的氮氣濃度在18-20SCCM,接下來老師讓我做氮氣梯度的，就是比如鍍2濃度的5分鐘 4濃度的5分鐘 然后6,8,10左后到18的一個小時或者其他時間，老師讓我找找最優(yōu)梯度，我覺得這有太多種可能性了，樣品的磨和拋光也很費時間，有沒有人能指點一下應(yīng)該怎么設(shè)計濃度梯度比較合理。就是說246810都一個時間呢 還是逐漸增加 最后濃度多長時間好 |
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3樓2015-11-14 12:53:17
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