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磁控濺射射頻電源自動(dòng)關(guān)閉
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非強(qiáng)磁性靶，射頻濺射金屬Sn。20W，5mTorr，設(shè)定濺射時(shí)間為1300s。實(shí)際濺射到余98s時(shí)，射頻電源突然自動(dòng)關(guān)閉。手觸摸射頻電源控制面板，稍微發(fā)熱。再次嘗試RF濺射該靶，功率氬氣流量保持一致，只嘗試了3分鐘，沒有出現(xiàn)問題。而且RF濺射過程中，電壓值穩(wěn)定在135~134V。 用DC電源濺射Sn，電壓不穩(wěn)定。所以選擇的RF濺射。 請(qǐng)問，有沒有人遇到射頻電源關(guān)閉的問題？我該從哪里著手檢查呢？不盡感激。 |
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5樓2015-12-04 19:14:59
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