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langjia木蟲 (正式寫手)
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[求助]
微納壓印的光刻膠選擇問題
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大家好，目前需要做實(shí)驗(yàn) 大概目的是復(fù)制模板的表面微納結(jié)構(gòu)： 原來的實(shí)驗(yàn)是：1、PMDS復(fù)制反模，2、有機(jī)無機(jī)雜化溶膠做正像結(jié)構(gòu)，3、壓印后掀起PMDS反模時(shí)，溶膠粘在反模結(jié)構(gòu)中，無法成型。 現(xiàn)在這樣想：1、光刻膠正性膠做反模，2、將刻膠反模壓印，3、光照分解，洗掉反模，保留正像。 不知道這個(gè)想法是否可行，還有哪位大俠能推薦用什么光刻膠？ 十分感謝，回答請選應(yīng)助，以便我給您加金幣，謝謝��！ |
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