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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 二氧化硅的掩蔽作用
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li19910228銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
二氧化硅的掩蔽作用 已有1人參與
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為了對表面硅有一層保護，一般加工會氧化頂層硅或者淀積氧化硅，問題來了，這個氧化硅厚度在多少才能起到掩蔽保護作用呢？自然氧化層多厚？可以掩蔽嗎？謝謝 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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2樓2015-11-20 10:24:26
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