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如果用磁控濺射過載功率提高濺射速率，會對濺射源或者濺射臺有什么影響么？ 已有1人參與
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如果磁控濺射金屬，提高功率，會有什么危害，應該從哪方面考慮？ 1. 設備硬件方面，可能會有因功率過大引起的靶材熔掉，這個會對濺射源和磁場什么的有影響嗎？ 2. 從成膜質(zhì)量上看，膜質(zhì)會致密，反射率會高，膜層與基片的接觸會變好，其他會有什么影響么？尤其是變壞的參數(shù)。  |
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2樓2015-12-04 21:10:20
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