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超高真空腔體內(nèi)的剩余氣體(主要是氫氣)
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有人知道,超高真空腔體內(nèi)的剩余氣體(主要是氫氣)的來源嗎? 目前認為氫氣的來源主要是不銹鋼腔體內(nèi)部釋放出來的,那是否意味著在腔體使用前,只要烘烤過足夠長的時間后腔體材料內(nèi)部的氫氣除去,就可以達到很高的真空度了?即使腔體再次開腔,腔體內(nèi)部的氫氣也會很少?但是顯然實際情況不是如此。 還有一種說法是,氫氣可以透過不銹鋼腔體進入真空環(huán)境,不知道是否有根據(jù)? ![]() |
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