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勿忘心安里鐵蟲 (小有名氣)
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[交流]
鐵電薄膜材料刻蝕后,可以從哪些研究
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| 請問鐵電薄膜材料刻蝕后,可以從哪些研究?刻蝕出圖形后,如從 刻蝕速率和穩(wěn)定性、表面的成分分析、表面粗糙度、刻蝕的均勻性、刻蝕圖形側(cè)壁的陡直度、薄膜的性能(漏電流、P-V曲線、保持性能等)等進(jìn)行研究。我目前能想到的,也只有這么多了,求同行能夠給出建議,感謝! |
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