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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » TMAH腐蝕硅片出現不能理解的圖形
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[求助]
TMAH腐蝕硅片出現不能理解的圖形
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腐蝕液：10%TMAH，82℃ 光刻圖形：矩形條 掩膜：SiO2 異�，F象如下圖，矩形條邊沿腐蝕速度更快，結果比中間更深 哪位大神知道原因��！ 1.png 2.png 3.png 4.png |
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xiaochen1123
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2樓2016-01-23 09:13:09
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