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dchgd新蟲 (小有名氣)
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[求助]
碳化硅先驅(qū)體
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各位: 我做的碳化硅先驅(qū)體需要測試Si、C、O、Al、H各元素含量,其中主要是測試Al含量多少。目前測試方法ICP不是很理想,結(jié)果波動比較大,XPS不能測試H元素含量,導致得到的相對含量不能作為參考。勞煩各位給個合適的測試給元素方法,尤其是測試Al含量的方法。(文獻中提到Si測試是重量分析法,使樣品溶于碳酸鈉和過氧化鈉中,反應原理不清楚,能否作答一下)。 ![]() ![]() |
銀蟲 (初入文壇)
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