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勿忘心安里鐵蟲(chóng) (小有名氣)
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臺(tái)階儀測(cè)量刻蝕速率，怎樣調(diào)用測(cè)量的數(shù)據(jù)
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請(qǐng)問(wèn)臺(tái)階儀測(cè)量刻蝕速率，怎樣調(diào)用測(cè)量的數(shù)據(jù)？使用的是探針輪廓儀。以及儀器的攝像頭部分壞了，出現(xiàn)藍(lán)屏現(xiàn)象，怎樣解決（偶爾還能清晰看到探針和樣品，但到開(kāi)始掃描時(shí)，又沒(méi)有圖像了）。謝謝回復(fù)！ IMG_20150907_120917.jpg IMG_20151202_161720.jpg IMG_20150907_120820.jpg |
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藍(lán)屏多是USD驅(qū)動(dòng)問(wèn)題，以及最壞的CCD本身硬件問(wèn)題，很難說(shuō)的清楚，我傾向于硬件問(wèn)題，我看你其他帖子里面提到過(guò)忽好忽壞，如果是這樣的話，我只能說(shuō)硬件的可能性更高。。。 刻蝕速率（等同于濺射或者蒸鍍等的成膜速率），在不同的反應(yīng)時(shí)間下制備樣品，用臺(tái)階儀測(cè)量刻蝕深度(成膜厚度)，建立深度(膜厚)與反應(yīng)時(shí)間的曲線就可以了啊。 因?yàn)闀r(shí)間及測(cè)量誤差的關(guān)系，隨時(shí)間越長(zhǎng)，線性越好，時(shí)間越短，線性越差。假設(shè)刻蝕速率是每秒1nm，第一秒你甚至測(cè)不出來(lái)臺(tái)階，第十秒測(cè)出來(lái)的不見(jiàn)得比第九秒的深(臺(tái)階儀本身的測(cè)量誤差，你做刻蝕時(shí)間控制，以及各種其他因素如刻蝕液濃度變化等)，當(dāng)然，如果刻蝕速率理論上是均勻的，到了100s，1000s，10000s測(cè)出來(lái)的數(shù)據(jù)會(huì)線性很多。PS不要糾結(jié)我說(shuō)的數(shù)字，只是在舉例說(shuō)明 |
2樓2016-04-18 17:38:08
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