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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 求教光刻加工工藝
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即興以來銀蟲 (初入文壇)
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[求助]
求教光刻加工工藝 已有1人參與
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菜鳥一個，最近剛開始研究光刻，想請教一下大家： 在SI基底上涂膠，光刻膠厚度會比較厚一點兒，分辨率要求沒那么高，微米量級就可以了。 1.光刻都需要那些設備（甩膠機、曝光機……）？ 2.光刻的一個完成的工藝流程都包括什么步驟？ 3.我想做30μm厚的光刻膠，可以充分曝光嗎？應該用那種光刻膠和光源？ 4.除膠應該怎么做？ 謝謝您的耐心回答！ |
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yswyx 
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2樓2015-12-07 18:27:30
3樓2015-12-08 18:08:30
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