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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 功能薄膜 » 多層膜
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[求助]
多層膜 已有1人參與
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| 各位大神 ，問一下在做CrN/DLC多層膜時遇到鍍CrN時，氬氣流量50，氮氣150，氣壓1Pa一下不起輝，Cr靶電壓很高，沒有電流，而鍍氮化鉻單層時不會遇到這種問題，原因是什么，求各位大神幫助我一下，謝謝啦 |
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3樓2015-12-07 16:21:40
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2樓2015-12-07 11:44:30
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4樓2015-12-07 18:01:10
5樓2015-12-07 20:16:52
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