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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 金屬 » 表面處理 » Cu薄膜
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| 用磁控濺射在常溫生長的Cu（5nm）薄膜，SEM測試顯示有裂紋,請教一下大家是什么原因造成的？謝謝 |
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 薄膜制備與特性 |
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【答案】應(yīng)助回帖
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xia323: 金幣+15, ★★★很有幫助 2015-12-06 19:38:23
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降薄膜厚度，或薄膜要去應(yīng)力退火試試 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
4樓2015-12-06 00:04:58
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