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[求助]
用SU-8膠光刻后，用什么顯影液和去膠液？ 已有4人參與
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最近做試驗用SU-8膠光刻后，用的老師買的顯影液和去膠液，顯影液挺好用，去膠液就去不了膠啊。并且這兩瓶液體上寫的需要帶防護(hù)措施，對健康以及生育能力和胎兒有影響，我們平時就帶個醫(yī)用口罩，所以求助大家用什么顯影液和去膠液，具體怎么防護(hù)的。謝謝了 |
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10樓2015-12-08 19:11:20
dorrnm
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【答案】應(yīng)助回帖
★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
ameng391: 金幣+2, ★★★很有幫助 2015-12-29 21:27:59
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ameng391: 金幣+2, ★★★很有幫助 2015-12-29 21:27:59
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你說的這些副作用當(dāng)年沒怎么關(guān)注過，但是我感覺這類有機(jī)溶劑應(yīng)該都差不多吧，多少都會有些毒性。 去膠的話，沒錢用丙酮加熱煮就行，然后用甲醇和水洗干凈。想要效果好可以直接用ebr剝離液，光刻返工用的，當(dāng)然也可以去膠，只不過很貴。 主要是操作這些溶液的時候不是在桌子上直接做的，有個那種作業(yè)臺，有個罩子，里面一直在抽氣，只把手伸進(jìn)去操作。 公司里涂膠顯影但是自動化設(shè)備做的，人不會直接接觸的 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
2樓2015-12-06 13:14:36
3樓2015-12-06 14:06:06
dorrnm
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4樓2015-12-06 14:33:47
5樓2015-12-06 15:20:28
dorrnm
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6樓2015-12-06 15:59:35
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7樓2015-12-07 12:45:46
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【答案】應(yīng)助回帖
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ameng391: 金幣+2, ★★★★★最佳答案 2015-12-29 21:28:44
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顯影液是PGMEA，去膠液各家用的不一樣，但確實都不好去膠。 建議就別去膠了，直接換片子重新做。如果是非要做什么結(jié)構(gòu)，可以把圖和指標(biāo)發(fā)給我，我看看能不能用別的好去的膠來做。 關(guān)于防護(hù)，SU8相關(guān)的溶劑基本上毒性都非常低。自己仔細(xì)閱讀MSDS，在通風(fēng)櫥中操作，沒什么問題�？谡挚梢赃x擇有活性炭的，然并卵。實在害怕可以買個豬鼻子帶。 |
8樓2015-12-07 18:23:08
9樓2015-12-08 11:29:25
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