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CVD的襯底硅片可以重復(fù)利用嗎？如果可以要怎么處理？ 已有2人參與
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| CVD的襯底硅片可以重復(fù)利用嗎？如果可以要怎么處理？ |
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dorrnm
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2樓2015-12-10 20:12:29
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4樓2015-12-11 16:50:40
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氮化鎵片子貴，重復(fù)利用的時候，用干法直接往下刻蝕平坦化，然后用HF，鹽酸依次清洗無機物，然后先用丙酮煮，洗有機particle，然后用甲醇和去離子水洗。干燥了就可以用 省錢，但是重復(fù)利用有時候出了怪問題沒法分析 六寸硅片一片也就一百多塊錢，隨便掰著玩 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
7樓2015-12-11 21:19:05
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