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xhs1814新蟲 (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射平面靶材為什么會形成濺射溝道，哪位能幫忙解釋下 已有2人參與
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| 磁控濺射平面靶材為什么會形成濺射溝道，哪位能幫忙解釋下 |
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xhs1814
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3樓2015-12-18 10:05:46
2樓2015-12-17 21:34:42
【答案】應(yīng)助回帖
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一句話來概括，是因為磁控濺射時磁場對二次電子的約束作用，導(dǎo)致磁場跑道內(nèi)工作氣體如氬的離化率很高，進(jìn)而導(dǎo)致跑道內(nèi)濺射率高。形成濺射溝道。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
4樓2015-12-18 12:06:54
xhs1814
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我不知道畫的對不對，整個靶的上方都有磁場，都可以約束氬原子，里面的圈會形成溝道，正常講溝道上方的磁場應(yīng)該較靶邊緣和中心要弱，那為什么還會濺射更嚴(yán)重呢 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
5樓2015-12-22 21:50:50
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