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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 功能薄膜 » 鈦靶濺射不出來
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liaofang20銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
鈦靶濺射不出來 已有8人參與
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| PVD鍍鈦膜，使用直流濺射，靶材為柱狀靶。但是濺射了半個小時，樣品除了有一點發(fā)藍，沒啥變化（我用其他設備濺射的鈦膜是金屬色的）。看濺射后的靶材，好像沒濺射，靶材能正常起輝，請大神指點。 |
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9樓2015-12-30 09:33:51
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