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yinuolixuan金蟲 (小有名氣)
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[求助]
請(qǐng)教ZnO阻變器件的電極問題
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小碩一個(gè)，現(xiàn) 研究ZnO的阻變現(xiàn)象，但是怎么做都做不出來。請(qǐng)教各位原因。 先介紹我的思慮 1. 器件的結(jié)構(gòu)是Cu/ZnO/ITO玻璃 2. 然后ZnO是用磁控濺射長的，沒有熱處理工藝，100nm； 3. Cu也是用濺射方法做的電極，直徑3mm； 目前原因是高低阻態(tài)阻值比最大只有10倍，而且循環(huán)只有20次，最重要的是回不到高阻態(tài)了，一級(jí)一級(jí)變化。（見圖片） 想知道上述三個(gè)步驟中的錯(cuò)誤之處，而且關(guān)鍵是如何做出只有兩個(gè)態(tài)（高阻態(tài)和低阻態(tài)）的結(jié)構(gòu)，需要對(duì)器件做哪些處理呢？ Cu_ZnO_ITO_10_O2_150nm_b.jpg |
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