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[交流]
你們平時(shí)都是如何去除鋁片表面的氧化層的?什么樣的方法能去除的均勻?
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| 各位蟲友都來交流一下,你們平時(shí)都是如何去除鋁片表面的氧化層的?什么樣的方法能去除的均勻?我想用鋁片做置換反應(yīng),但是反應(yīng)出來的形貌不是很均勻。我的方法就是用10%的NaOH浸泡20min,再用硝酸浸泡20min,但是從電鏡圖來看,表面形貌并不均勻,不知道有經(jīng)驗(yàn)的蟲友有什么細(xì)節(jié)上的注意之處,希望大家多多交流,金幣多多~ |
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金蟲 (小有名氣)
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鋁表面的氧化層是因?yàn)檠趸纬傻拿?如果氧化本身不均勻,氧化膜也不均勻,腐蝕后表面形貌當(dāng)然不均勻。 濕法腐蝕本身就是等向腐蝕,腐蝕不均勻只能是因?yàn)橐后w各部分濃度不一樣,可以加一個(gè)液體循環(huán)系統(tǒng)改善。 一般六寸的晶圓表面300nm的氧化膜腐蝕200nm后表面厚度差只有5~10nm 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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你可以試試硫酸加氫氟酸混合使用。若工件帶油須先清洗干凈。 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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