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[求助]
請問XRD分析的三種掃描方式θ-2θ、ω和ψ掃描分別是什么意思啊 已有2人參與
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| 最近看到關(guān)于薄膜應(yīng)力的論文，搞不懂了。。求助大神 |
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碧水云天
至尊木蟲 (著名寫手)
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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這個如果實際操作過會比較好理解的。 簡單一點將，θ-2θ（or ω-2θ scan）在薄膜里有很大程度上指的是掠入射衍射的程度。具體你可以參考小角掠入射模式。 ω-scan ，獲得rocking curve，搖擺曲線，看薄膜某一晶面的生長受層錯，應(yīng)力等作用的影響。通俗點講就是薄膜某一晶面長得好不好。從rocking curve里可以得出FWHM，此值越小生長程度越好。 ψ掃描是薄膜材料先傾斜一個角度（要掃的面和生長面的夾角）再自身旋轉(zhuǎn)360度，一般用來分析樣品面內(nèi)排布（對稱性，有無孿晶等）。 |
2樓2015-12-25 11:01:50
3樓2015-12-25 21:15:35
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