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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 功能薄膜 » 襯底似乎燒焦了
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zsm201939銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
襯底似乎燒焦了 已有1人參與
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Date: 28-12-2015 (V2O5 99.99%) Experimental conditions: RT-60min-680C-360min-680C-RT (3Ar-0.1O2/ 3torr) Substrate: 100nm SiO2+ 100nm SiN Results: no wires, the subsrate is black and burning 圖片1.png 圖片2.png 圖片3.png 圖片4.png 圖片5.png |
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- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
- 管轄: 微米和納米
2樓2015-12-30 19:24:26
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