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北京石油化工學院2026年研究生招生接收調(diào)劑公告

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xiaoping_007

銀蟲 (初入文壇)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 750.7
帖子: 24
在線: 305.6小時
蟲號: 1052326
注冊: 2010-07-05
專業(yè): 碳素材料與超硬材料

[求助] 類金剛石薄膜已有1人參與

PVD沉積類金剛是薄膜，得到的薄膜表面顏色不均一如附圖所示，請教各位大神這種薄膜缺陷是什么原因造成。
使用離子源在TiC過渡層上沉積的類金剛石膜！各位大神提供指導意見，不勝感激.

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薄膜制備與特性

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1樓 2016-01-08 15:40:17

已閱回復此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

劉沐cs

鐵蟲 (初入文壇)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 470.5
帖子: 23
在線: 12.5小時
蟲號: 2417193
注冊: 2013-04-14
性別: MM
專業(yè): 電化學分析

【答案】應(yīng)助回帖

表面有空洞、不均勻，一般PVD方法制備的薄膜都有這種缺陷，你可以調(diào)下參數(shù)，使得薄膜表面更憑證，功率啊、溫度啊、氣壓啊，都有影響

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回復此樓

2樓2016-03-28 20:45:43

已閱回復此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

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