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[求助]
phi掃描不懂，會分析的達人請進！
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在襯底長了一些尖尖的結(jié)構(gòu)，有點兒像雨后春筍的那種尖尖的，尖端一共指向5個方向，有垂直于襯底的一個方向，其余四個方向很像亂箭斜斜的插入靶子。老板給我找了一個人幫我搞了一個phi掃描，他幫我掃了90度，掃360度他說浪費時間。掃了（002）和（100）兩個方向。 就想知道：1. phi掃描結(jié)果圖里的那個峰值最高點對應的角度，代表什么意思。 2.從圖里能不能知道那些尖尖的結(jié)構(gòu)，哪個是沿著（002）生長，哪個是沿著（100）生長的。 高手受累幫忙解答一下。 噴子們就不用回答了，時間有限，我沒時間進一步研究phi掃描。 |
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2樓2016-10-27 16:58:53
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