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曉峰122金蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
求助CHEMKIN！��！ 已有1人參與
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| 用CHEMKIN做硅烷分解的機(jī)理簡(jiǎn)化，旋轉(zhuǎn)CVD反應(yīng)器，載氣為氦氣和氫氣（參與主要?dú)庀喾磻?yīng)），兩種條件下計(jì)算出來(lái)的產(chǎn)物濃度和沉積速率幾乎完全相同，也就是說(shuō)氫氣氛圍下，多余的氫氣并沒(méi)有參與反應(yīng)，這不符合化學(xué)動(dòng)力學(xué)，請(qǐng)問(wèn)是什么原因?qū)е碌�，是機(jī)理編錯(cuò)了還是case設(shè)置的問(wèn)題？后來(lái)對(duì)H2 的third body efficiencies 進(jìn)行了定義，但是計(jì)算出來(lái)結(jié)果差別不大，求大神解答！�。。�！ |
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