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yjobj鐵蟲 (小有名氣)
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[交流]
晶圓warp改善 已有2人參與
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想請問一下前輩們，晶圓warp可以從哪些方面進(jìn)行改善？ 我做的是砷化鎵 |
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10樓2016-02-19 17:03:06
yswyx 
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穿越千年: 金幣+5, 結(jié)合各個(gè)樓層的回答，感謝您的精彩回復(fù) 2016-02-19 23:37:52
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穿越千年: 金幣+5, 結(jié)合各個(gè)樓層的回答，感謝您的精彩回復(fù) 2016-02-19 23:37:52
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產(chǎn)業(yè)鏈很長，生產(chǎn)芯片的過程中會(huì)造成warp的工藝也非常多，所以需要說清楚 應(yīng)力肯定是warp產(chǎn)生的原因，拉單晶時(shí)的內(nèi)應(yīng)力主要是冷卻過程中產(chǎn)生的，其它的因素是雜質(zhì)分布，但影響很小。最簡單的辦法時(shí)候延長冷卻的時(shí)間，退火，靜置等方法。但是這個(gè)需要不同的工藝條件來測試。 而線切割產(chǎn)生的應(yīng)力造成的warp是很直觀的�？梢酝ㄟ^切割速度和冷卻方式來不斷的調(diào)整，觀察warp的變化。 |
8樓2016-02-19 16:17:15
yswyx
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2樓2016-02-17 19:10:34
yjobj
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3樓2016-02-19 10:38:47
yousyunnsei
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4樓2016-02-19 14:27:40
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5樓2016-02-19 14:32:11
yjobj
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6樓2016-02-19 15:46:29
yjobj
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7樓2016-02-19 15:48:26
yjobj
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9樓2016-02-19 16:56:18
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