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[交流]
【求助】磁控濺射Mg靶變黑，這是為什么？ 已有2人參與
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| 最近實(shí)驗(yàn)結(jié)束后總是發(fā)現(xiàn)Mg靶變黑，不僅是中間和兩邊，就連濺射區(qū)域也是黑的，就像碳粉一樣附著在表面，本底真空為7*10-4, 工作氣壓0.5Pa，濺射功率是30W。 |
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2樓2013-09-29 09:07:01
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請(qǐng)問(wèn)現(xiàn)在這個(gè)問(wèn)題解決了嗎？  確實(shí)可以進(jìn)行Mg靶的濺射嗎？發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
3樓2018-09-21 19:10:13
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4樓2018-09-21 19:10:51
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