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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 基礎研究 » 【求助】磁控濺射 ZnO鍍膜
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[交流]
【求助】磁控濺射 ZnO鍍膜 已有12人參與
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| 磁控濺射制備P型ZnO薄膜時 用單質(zhì)Zn靶和Al靶，通過調(diào)節(jié)濺射功率來控制Zn、Al的含量比，但是怎樣確定具體的比例，比如我要達到使Al的質(zhì)量分數(shù)為2%，這要怎樣控制濺射功率呢？ |
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