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[交流]
【求助】磁控濺射Mg靶變黑，這是為什么？ 已有2人參與
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| 最近實驗結(jié)束后總是發(fā)現(xiàn)Mg靶變黑，不僅是中間和兩邊，就連濺射區(qū)域也是黑的，就像碳粉一樣附著在表面，本底真空為7*10-4, 工作氣壓0.5Pa，濺射功率是30W。 |
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知夏愛夏天2樓2013-09-29 09:07:01
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確實可以進行Mg靶的濺射嗎？3樓2018-09-21 19:10:13
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4樓2018-09-21 19:10:51
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