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lyncee

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[交流] 一些微納器件的形貌和運(yùn)動(dòng)參數(shù)全息法檢測(cè)（硅麥、微執(zhí)行器、薄膜）已有2人參與

MEMS測(cè)振
1、MEMS麥克風(fēng)
與頻閃同步采集麥克風(fēng)激發(fā)時(shí)序圖�？梢詫�(duì)它們中的每一個(gè)進(jìn)行完整的振動(dòng)分析。
視野：1*1mm
橫向分辨率：0.5μm
每激勵(lì)周期記錄32幅形貌圖
10×10拼接：每個(gè)形貌測(cè)量具有超高分辨率30 MPX
薄硅膜（＜1μm）

一些微納器件的形貌和運(yùn)動(dòng)參數(shù)全息法檢測(cè)（硅麥、微執(zhí)行器、薄膜）-1

2、壓電執(zhí)行器
采用4路正弦電源相位分別相差90°，在器件上激發(fā)出一個(gè)行波，分別檢測(cè)xyz方向?qū)崟r(shí)振幅和位移已經(jīng)形貌時(shí)序圖

一些微納器件的形貌和運(yùn)動(dòng)參數(shù)全息法檢測(cè)（硅麥、微執(zhí)行器、薄膜）-2

一些微納器件的形貌和運(yùn)動(dòng)參數(shù)全息法檢測(cè)（硅麥、微執(zhí)行器、薄膜）-3

3、激光孔形貌

一些微納器件的形貌和運(yùn)動(dòng)參數(shù)全息法檢測(cè)（硅麥、微執(zhí)行器、薄膜）-4

4、測(cè)量分析石墨烯薄膜受力形變

一些微納器件的形貌和運(yùn)動(dòng)參數(shù)全息法檢測(cè)（硅麥、微執(zhí)行器、薄膜）-5

一些微納器件的形貌和運(yùn)動(dòng)參數(shù)全息法檢測(cè)（硅麥、微執(zhí)行器、薄膜）-6

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1樓 2017-11-10 17:42:06

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lyncee

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4樓: Originally posted by nwpuwang at 2017-11-21 18:40:54
牛，有沒(méi)有試用版軟件給試試效果

這個(gè)MEMS分析軟件是配合硬件進(jìn)行測(cè)量的，沒(méi)有單獨(dú)的

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5樓2017-11-24 09:05:47

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findwind

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2樓2017-11-10 20:51:19

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2樓: Originally posted by findwind at 2017-11-10 20:51:19
自己研發(fā)的新系統(tǒng)？

不是，用DHM幫人檢測(cè)的器件。

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3樓2017-11-13 10:57:18

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nwpuwang

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4樓2017-11-21 18:40:54

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