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一些微納器件的形貌和運(yùn)動參數(shù)全息法檢測（硅麥、微執(zhí)行器、薄膜） 已有2人參與
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MEMS測振 1、MEMS麥克風(fēng) 與頻閃同步采集麥克風(fēng)激發(fā)時序圖�？梢詫λ鼈冎械拿恳粋�進(jìn)行完整的振動分析。 視野：1*1mm 橫向分辨率：0.5μm 每激勵周期記錄32幅形貌圖 10×10拼接：每個形貌測量具有超高分辨率30 MPX 薄硅膜（＜1μm） 2、壓電執(zhí)行器 采用4路正弦電源相位分別相差90°，在器件上激發(fā)出一個行波，分別檢測xyz方向?qū)崟r振幅和位移已經(jīng)形貌時序圖 3、激光孔形貌 4、測量分析石墨烯薄膜受力形變  -MEMS 分析工具.jpg |
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2樓2017-11-10 20:51:19
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nwpuwang
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4樓2017-11-21 18:40:54
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