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一些微納器件的形貌和運(yùn)動(dòng)參數(shù)全息法檢測(cè)（硅麥、微執(zhí)行器、薄膜） 已有2人參與
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MEMS測(cè)振 1、MEMS麥克風(fēng) 與頻閃同步采集麥克風(fēng)激發(fā)時(shí)序圖�？梢詫�(duì)它們中的每一個(gè)進(jìn)行完整的振動(dòng)分析。 視野：1*1mm 橫向分辨率：0.5μm 每激勵(lì)周期記錄32幅形貌圖 10×10拼接：每個(gè)形貌測(cè)量具有超高分辨率30 MPX 薄硅膜（＜1μm） 2、壓電執(zhí)行器 采用4路正弦電源相位分別相差90°，在器件上激發(fā)出一個(gè)行波，分別檢測(cè)xyz方向?qū)崟r(shí)振幅和位移已經(jīng)形貌時(shí)序圖 3、激光孔形貌 4、測(cè)量分析石墨烯薄膜受力形變  -MEMS 分析工具.jpg |
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4樓2017-11-21 18:40:54
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2樓2017-11-10 20:51:19
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5樓2017-11-24 09:05:47
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