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bsjia木蟲 (正式寫手)
屁蟲
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[交流]
【求助】射頻濺射反射功率過高，不起輝，無自偏壓 已有7人參與
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射頻濺射過程中反射功率升高而沒有注意到，現(xiàn)在不能起輝了，自偏壓也沒有，是不是設(shè)備壞了��？怎么維修啊，請高手指點(diǎn)�。� 急！還沒有跟老板說呢！謝謝 |
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tonylei1990
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2樓2010-10-25 20:45:39
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3樓2010-10-26 00:24:57
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我使用的射頻電源和射頻匹配器都是國產(chǎn)的（北京泰科諾科技JCP-350磁控濺射鍍膜機(jī)），通過手動調(diào)節(jié)電源功率,匹配器是自動的，反射功率過高時，通過調(diào)節(jié)c1,c2來調(diào)低反射功率，上次做實(shí)驗時反射功率過大一段時間沒有注意到，發(fā)現(xiàn)時，發(fā)現(xiàn)自偏壓變?yōu)榱�，調(diào)整電源功率自偏壓也不出現(xiàn)了。在再次開機(jī)做實(shí)驗時，始終沒有自偏壓，但是調(diào)整電源功率，射頻匹配器上前級功率和反射功率都有，但靶上不起輝。 今天一直沒有空，沒有去按您說的去檢查電纜線。 以上描述不知道能否判斷故障在哪里？ [ Last edited by bsjia on 2010-10-26 at 21:04 ] |
4樓2010-10-26 20:46:03
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