li_jing_kui

Originally posted by li_jing_kui at 2010-04-22 11:16:48:
磁控濺射偏壓為什么加不上？調(diào)節(jié)功率旋鈕，只是有電流，沒有電源，偏壓加不上，請有經(jīng)驗的人指教。謝謝�。ㄕＦ疠x，可以鍍膜，就是加在基片上的偏壓加不上）

[ Last edited by li_jing_kui on 2010-4-27 a ...

加在基片上偏壓是要反濺嗎？那得用射頻電源吧射頻電源起輝需要Ar氣壓高嘗試把高閥關(guān)閉一瞬間或者從針閥通入氬氣
不知道樓主是不是這個意思呵呵

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回復(fù)此樓

8樓2010-04-28 01:26:32

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靜憶hh

銅蟲 (初入文壇)

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小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖

你好，我現(xiàn)在也遇到了同樣的問題。不知道你是怎么解決的呢？謝謝

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回復(fù)此樓

10樓2015-03-25 15:41:43

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