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handanfxp銀蟲 (初入文壇)
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[交流]
磁控濺射分子泵升不上轉(zhuǎn)問題 已有7人參與
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| 我是做磁控濺射的，采用分子泵對腔室進(jìn)行抽氣，今天早起過來開機(jī)進(jìn)行抽氣的時候，先打開機(jī)械泵和電磁閥，然后觀察真空度，真空度在7Pa。然后我打開分子泵開始升轉(zhuǎn)，在分子泵升到130轉(zhuǎn)的時候，我開始打開高閥抽氣，一切正常，我就出去了，就我剛出去，就聽到一聲很響的怪聲，過去一看，正空度開始往上升，并且分子泵報警，顯示OL2過流保護(hù)。然后我就等了一段時間，重新給分子泵升轉(zhuǎn)，發(fā)現(xiàn)，升到172轉(zhuǎn)的時候，分子泵 還是報警OL2.大家?guī)兔Ψ治鲆幌鲁鍪裁磫栴}了啊，會不會是分子泵的葉片碎了啊， |
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