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54txtx銀蟲(chóng) (初入文壇)
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[交流]
【請(qǐng)教】請(qǐng)教，關(guān)于Ar磁控濺射的濺射效率問(wèn)題 已有3人參與
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本人新手，剛做實(shí)驗(yàn)，請(qǐng)教各位大牛 我做磁控濺射，濺射氣體是Ar，分別濺射兩種靶材A和B，現(xiàn)在想要搞清楚Ar對(duì)于A和B的濺射效率分別是多少。 打個(gè)不是很恰當(dāng)?shù)睦觼?lái)說(shuō)，當(dāng)一個(gè)Ar原子打到A上時(shí)，可以打出m個(gè)A原子，而當(dāng)同樣一個(gè)Ar原子打到B上時(shí)，可以打出n個(gè)B原子，m和n應(yīng)當(dāng)不同，因?yàn)閷?duì)于不同的材料濺射的效率應(yīng)該不同 那么有沒(méi)有什么物理量來(lái)表示這種效率差別，網(wǎng)上那里可以搜到具體參數(shù)？ 很迷茫，急盼各位前輩指點(diǎn)，先行謝過(guò)了！ |
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ppttcug
木蟲(chóng) (小有名氣)
甲蟲(chóng)
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小木蟲(chóng)(金幣+0.5):給個(gè)紅包，謝謝回帖交流
金光閃閃2010(金幣+1): 歡迎交流 2011-03-28 07:39:10
小木蟲(chóng)(金幣+0.5):給個(gè)紅包，謝謝回帖交流
金光閃閃2010(金幣+1): 歡迎交流 2011-03-28 07:39:10
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從原理上來(lái)看，濺射主要由電子完成，和陽(yáng)離子也就是氬氣離子無(wú)關(guān)。 濺射率和電壓有關(guān)，大致可以按電壓*1個(gè)電子伏特*(1-熱損耗比例)/單個(gè)原子蒸發(fā)能 單原子蒸發(fā)能可以用查到的每摩爾蒸發(fā)能換算 1mol eV=96.44kJ 熱損耗比例隨電壓增加而增加，所以數(shù)萬(wàn)伏時(shí)濺射率會(huì)達(dá)到極限 |
2樓2011-03-28 00:00:16
erty
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3樓2011-04-06 22:25:12
zhangxud04
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4樓2011-04-13 15:31:03
54txtx
銀蟲(chóng) (初入文壇)
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5樓2011-05-25 19:01:55
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