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54txtx銀蟲 (初入文壇)
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[交流]
【請教】請教，關(guān)于Ar磁控濺射的濺射效率問題 已有3人參與
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本人新手，剛做實驗，請教各位大牛 我做磁控濺射，濺射氣體是Ar，分別濺射兩種靶材A和B，現(xiàn)在想要搞清楚Ar對于A和B的濺射效率分別是多少。 打個不是很恰當?shù)睦觼碚f，當一個Ar原子打到A上時，可以打出m個A原子，而當同樣一個Ar原子打到B上時，可以打出n個B原子，m和n應(yīng)當不同，因為對于不同的材料濺射的效率應(yīng)該不同 那么有沒有什么物理量來表示這種效率差別，網(wǎng)上那里可以搜到具體參數(shù)？ 很迷茫，急盼各位前輩指點，先行謝過了！ |
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54txtx
銀蟲 (初入文壇)
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5樓2011-05-25 19:01:55
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4樓2011-04-13 15:31:03
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