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54txtx銀蟲 (初入文壇)
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[交流]
【請教】請教,關(guān)于Ar磁控濺射的濺射效率問題 已有3人參與
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本人新手,剛做實驗,請教各位大牛 我做磁控濺射,濺射氣體是Ar,分別濺射兩種靶材A和B,現(xiàn)在想要搞清楚Ar對于A和B的濺射效率分別是多少。 打個不是很恰當(dāng)?shù)睦觼碚f,當(dāng)一個Ar原子打到A上時,可以打出m個A原子,而當(dāng)同樣一個Ar原子打到B上時,可以打出n個B原子,m和n應(yīng)當(dāng)不同,因為對于不同的材料濺射的效率應(yīng)該不同 那么有沒有什么物理量來表示這種效率差別,網(wǎng)上那里可以搜到具體參數(shù)? 很迷茫,急盼各位前輩指點,先行謝過了! |
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