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54txtx銀蟲 (初入文壇)
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[交流]
【請(qǐng)教】請(qǐng)教，關(guān)于Ar磁控濺射的濺射效率問(wèn)題 已有3人參與
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本人新手，剛做實(shí)驗(yàn)，請(qǐng)教各位大牛 我做磁控濺射，濺射氣體是Ar，分別濺射兩種靶材A和B，現(xiàn)在想要搞清楚Ar對(duì)于A和B的濺射效率分別是多少。 打個(gè)不是很恰當(dāng)?shù)睦觼?lái)說(shuō)，當(dāng)一個(gè)Ar原子打到A上時(shí)，可以打出m個(gè)A原子，而當(dāng)同樣一個(gè)Ar原子打到B上時(shí)，可以打出n個(gè)B原子，m和n應(yīng)當(dāng)不同，因?yàn)閷?duì)于不同的材料濺射的效率應(yīng)該不同 那么有沒(méi)有什么物理量來(lái)表示這種效率差別，網(wǎng)上那里可以搜到具體參數(shù)？ 很迷茫，急盼各位前輩指點(diǎn)，先行謝過(guò)了！ |
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erty
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4樓2011-04-13 15:31:03
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5樓2011-05-25 19:01:55
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