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handanfxp銀蟲(chóng) (初入文壇)
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[交流]
磁控濺射分子泵升不上轉(zhuǎn)問(wèn)題 已有7人參與
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| 我是做磁控濺射的，采用分子泵對(duì)腔室進(jìn)行抽氣，今天早起過(guò)來(lái)開(kāi)機(jī)進(jìn)行抽氣的時(shí)候，先打開(kāi)機(jī)械泵和電磁閥，然后觀察真空度，真空度在7Pa。然后我打開(kāi)分子泵開(kāi)始升轉(zhuǎn)，在分子泵升到130轉(zhuǎn)的時(shí)候，我開(kāi)始打開(kāi)高閥抽氣，一切正常，我就出去了，就我剛出去，就聽(tīng)到一聲很響的怪聲，過(guò)去一看，正空度開(kāi)始往上升，并且分子泵報(bào)警，顯示OL2過(guò)流保護(hù)。然后我就等了一段時(shí)間，重新給分子泵升轉(zhuǎn)，發(fā)現(xiàn)，升到172轉(zhuǎn)的時(shí)候，分子泵 還是報(bào)警OL2.大家?guī)兔Ψ治鲆幌鲁鍪裁磫?wèn)題了啊，會(huì)不會(huì)是分子泵的葉片碎了啊， |
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