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handanfxp銀蟲(chóng) (初入文壇)
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磁控濺射分子泵升不上轉(zhuǎn)問(wèn)題 已有7人參與
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| 我是做磁控濺射的，采用分子泵對(duì)腔室進(jìn)行抽氣，今天早起過(guò)來(lái)開(kāi)機(jī)進(jìn)行抽氣的時(shí)候，先打開(kāi)機(jī)械泵和電磁閥，然后觀察真空度，真空度在7Pa。然后我打開(kāi)分子泵開(kāi)始升轉(zhuǎn)，在分子泵升到130轉(zhuǎn)的時(shí)候，我開(kāi)始打開(kāi)高閥抽氣，一切正常，我就出去了，就我剛出去，就聽(tīng)到一聲很響的怪聲，過(guò)去一看，正空度開(kāi)始往上升，并且分子泵報(bào)警，顯示OL2過(guò)流保護(hù)。然后我就等了一段時(shí)間，重新給分子泵升轉(zhuǎn)，發(fā)現(xiàn)，升到172轉(zhuǎn)的時(shí)候，分子泵 還是報(bào)警OL2.大家?guī)兔Ψ治鲆幌鲁鍪裁磫?wèn)題了啊，會(huì)不會(huì)是分子泵的葉片碎了啊， |
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2樓2011-05-14 19:48:16
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7樓2014-09-30 16:36:07
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小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
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你自己的儀器你自己應(yīng)該清楚，什么“OL2過(guò)流保護(hù)”旁人怎么知道是什么意思，你去翻手冊(cè)啊，上面肯定寫(xiě)著的。。。 籠統(tǒng)的來(lái)說(shuō)，分子泵上不了速，真空問(wèn)題可能性比較大。。。分子泵可能有自我保護(hù)，抽的比預(yù)計(jì)慢它會(huì)自動(dòng)減速、關(guān)閉。。。但是你那個(gè)什么很響的怪聲，不是正�，F(xiàn)象。如果實(shí)在擔(dān)心葉片壞了，拆開(kāi)來(lái)看看就知道了 |
8樓2014-10-01 06:57:41
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